ASML多款光刻机不会获对华出口许可-今日头条

ASML多款光刻机不会获对华出口许可

2024-01-25

ASML在声明中强调，公司将持续致力于遵守经营所在国家/地区所有适用的法律和法规，包括出口管制法规。

涉及此次出口许可禁令的两款设备中，ASMLTWINSCANNXT:2050i是一款高生产率、双级浸没式光刻工具，专为在先进节点批量生产300mm晶圆而设计；而另一款NXT:2100i是双级浸没式光刻设备，其配备了新的投影光学调整系统，ArF光源为193nm，每小时光刻的晶圆数量达295片，主要用于光刻40nm-28nm芯片。

在这中间发生了什么，外界无从得知，直到ASML发布声明，确认提前取消部分对华光刻机订单。

据悉，DUV光刻机被用于生产28nm及更成熟制程的芯片。理论上，在多重曝光技术下最高能制造10nm芯片产品，主要供应商有荷兰ASML、日本尼康、日本佳能等厂商。